讲座题目：超精密外差激光干涉测量技术与仪器
讲座时间：2024年6月15日（周六）上午8：30
讲座地点：工科E1329
主讲人简介：
付海金，工学博士，哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院教授/博导，入选国家高层次青年人才计划。主要研究方向为超精密激光干涉测量技术与仪器，主要应用领域包括精密计量装备、高端制造装备、前沿科学装置等；先后承担国家级/省部级/企业横向项目30余项，作为负责人/核心骨干研制成功多个系列十余种超精密激光干涉测量设备，代表性应用单位包括上海微电子、中电科、华为、比亚迪、国科精密、中国计量院等头部企业和国家级研究机构等；发表科研论文40余篇，获发明专利授权20余项，出版专著3部，参编校准规范/规程2部；作为负责人/主要完成人，获中国计量测试学会科学技术进步一等奖、高等教育国家级教学成果一等奖等7项。
报告简介：
激光干涉测量技术与仪器具有高测量速度、高测量分辨力和优异的抗干扰性能等优点，在以光刻设备为代表的高端制造装备领域、以引力波探测为代表的前沿科学领域、以千克量子化基准为代表的精密计量领域等具有非常广泛和重要的应用。本报告主要介绍了哈尔滨工业大学激光测量与探测研究团队近年来在超精密激光干涉测量相关的关键技术突破、核心部件研制（包括稳频激光器、光学干涉镜组、干涉信号解调卡等）、仪器集成及其工程应用方面的进展情况。
